一、雙圓裂片式

    雙圓裂片式的多級設計使得氣體通路相當復雜，并且每一及都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時，為了達到好的真空度，對各級的間隙有非常嚴格的要求。當然，這種設計由于增加了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。

    二、三葉圓裂片式

    三葉圓裂片式設計和上述形式設計的原理相同，只是在旋轉一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。為了進一步降低耗電量，在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達，但這也會導致扭矩減小，重新啟動的能力—下降。

    三、組合式（羅茨+爪）

    組合式（羅茨+爪）設計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設計相同。也有些廠家將其一及改為星型設計，這樣可以在旋轉一圈中將氣體分為五份，就像三圓裂片式設計可以將其分為三份。

    四、外部壓縮型螺桿式

    在外部壓縮型螺桿式設計中，使用一對等距螺桿。這使得內部壓縮減小，同時使得氣體通路簡單。這樣，氣體在泵體內停留的時間也短。這種設計但在復雜的半導體工藝中表現(xiàn)出的穩(wěn)定性非常強。

    五、內部壓縮型螺桿式

    螺桿間容積的不斷減小使得其內部產(chǎn)生壓縮。在很多工藝中，這種內部壓縮同多級泵一樣，容易造成氣體在泵體內的物理化學變化而產(chǎn)生固化或液化。

    以上就是有關無油真空泵五種形式的介紹，根據(jù)其介紹我們可更好的了解設備的使用及相關的性能，也可更加方便使我們進行設備型號的選擇。

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