1.通過容積變化，在體積大的時候吸入空氣，在體積變小時(壓力變大)排出空氣，容積變化是靠著活動的機械部件來實現(xiàn)的，要求有很小的間隙并且有很高的精度，比如爪泵。

2.依靠非常高的機械動轉(zhuǎn)速度，將空氣分子定向撞擊而攜帶走，如分子泵。三是低溫泵，在接近絕對零度的冷面上，幾乎所有的空氣分子都被冷凍捕集在表面。

上述就是有光無油真空泵的如何工作以及工作原理的介紹了。

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